湖北退火炉

作者:admin 发布日期: 2021-09-14 二维码分享

湖北退火炉是集成电路制造工艺中的常用设备之一- 。在半导体制造中,有很多工艺(如氧化、扩散、外延、离子注人、蕉发电极等)在其完成后需要进行特定的退火热处理。

退火的主要作用是消除晶格缺陷( 使不在晶格位置上的离子运动到晶格位置,以使其具有电活性,产生自由载流子,起到..杂质的作用)和晶格损伤(在离子注人过程中,由于受到高能粒子的撞击,导致硅结构的晶格原子发生位移,造成晶格缺陷和损伤)。

另外,退火也用于除氧,除金属杂质,清除表面吸附物质,改善表面粗糙度,以及使得半导体表面与金属能够形成合金,..接触良好等方面。退火可分为快速退火、激光退火和传统的管式退火。其中,大尺寸圆片(直径≥200mm)的退火工艺-般采用立式炉及单片退火设备。

而传统的湖北管式退火炉(卧式退火炉)因其结构简单,通用性强,便于控制,广泛应用于小尺寸圆片(直径<200mm)的生产线上。

湖北退火炉

退大炉的主要技术指标:工作温度范围为S00- 1280,恒温区长度为600- 100m恒温区精度为+0.5C..大可控升温速事不小于15度/min,.大可控降温速幸不小于5度/min,退火炉结构示意图如图8- 99所示(以三管退火炉为例)。

退火炉由炉体机箱(包括加热炉体、热交换器、..箱、变压器机箱)、净化工作台、控制柜和气源柜4个部分构成。退火炉系统一般采用工控机作 为控制主机,使用防磁、防振、抗干扰能力强且适应恶劣工业环境的工作站。每个炉管具有一套独立的控制系统。